间隔层

2nm 时代，High NA不是唯一解

半导体行业正在重新评估其制造最先进芯片的长期路线图。高数值孔径（High-NA）光刻技术曾被视为实现亚2纳米节点微型化的必由之路，但现在正被人们与其他选择进行权衡。